GB/T 32280-2022 (Англоязычная версия) Метод испытания на коробление и изгиб кремниевых пластин. Метод автоматизированного бесконтактного сканирования.

сфера применения: В настоящем документе описан метод контроля коробления и кривизны кремниевых пластин с использованием двух датчиков для автоматического бесконтактного сканирования поверхности пластин.Настоящий документ распространяется на чистые и сухие кремниевые пластины диаметром не менее 50 мм и толщиной не менее 100 мкм, включая кремниевые пластины, которые вырезаны, шлифованы, травлены, полированы, эпитаксии, травлены или имеют другие состояния поверхности.Он также может использоваться для арсенида галлия, испытаний на коробление и кривизну карбида кремния, сапфира и других материалов. микропроводниковые пластины.

GB/T 32280-2022 Ссылочный документ

GB/T 14264 Полупроводниковые материалы. Термины и определения
GB/T 16596 Спецификация для создания системы координат пластины
GB/T 6619 Метод испытаний дуги из кремниевых пластин
GB/T 6620 Метод испытаний для измерения коробления кремниевых пластинок бесконтактным сканированием

2022 GB/T 32280-2022 Метод испытания на коробление и изгиб кремниевых пластин. Метод автоматизированного бесконтактного сканирования.
2015 GB/T 32280-2015 Метод испытания на коробление кремниевых пластин. Метод автоматизированного бесконтактного сканирования.