GB/T 32280-2015
Метод испытания на коробление кремниевых пластин. Метод автоматизированного бесконтактного сканирования. (Англоязычная версия)
- Стандартный №
- GB/T 32280-2015
- язык
- Китайский, Доступно на английском
- Дата публикации
- 2015
- Разместил
- General Administration of Quality Supervision, Inspection and Quarantine of the People‘s Republic of China
- состояние
- 2022-10
- быть заменен
- GB/T 32280-2022
- Последняя версия
- GB/T 32280-2022
- сфера применения
- Этот стандарт определяет неразрушающий метод автоматического бесконтактного сканирования на предмет коробления кремниевых пластин. Настоящий стандарт распространяется на испытание на коробление чистых и сухих пластин, вырезанных, шлифованных, корродированных, полированных, травленых, эпитаксиальных или с другим состоянием поверхности кремниевых пластин диаметром не менее 50 мм и толщиной не менее 100 мкм. Метод может быть использован для контроля коробления кремниевых пластин, вызванного термическими и (или) механическими воздействиями, а также для тестирования коробления других полупроводниковых пластин, таких как арсенид галлия и сапфир.
GB/T 32280-2015 Ссылочный документ
- GB 50073-2013 Код проектирования чистого помещения
- GB/T 14264 Полупроводниковые материалы. Термины и определения
- GB/T 29507 Метод испытаний для измерения плоскостности, толщины и изменения общей толщины кремниевых пластин. Автоматическое бесконтактное сканирование.
- GB/T 6620 Метод испытаний для измерения коробления кремниевых пластинок бесконтактным сканированием
GB/T 32280-2015 История
- 2022 GB/T 32280-2022 Метод испытания на коробление и изгиб кремниевых пластин. Метод автоматизированного бесконтактного сканирования.
- 2015 GB/T 32280-2015 Метод испытания на коробление кремниевых пластин. Метод автоматизированного бесконтактного сканирования.
