ASTM F534-02a - Стандарты и спецификации PDF

Стандартный №: ASTM F534-02a
Дата публикации: 1970
Разместил: /
Последняя версия: ASTM F534-02a

сфера применения: 1.1 Настоящий метод испытаний охватывает определение средней величины изгиба номинально круглых кремниевых пластин, полированных или неполированных, в свободном (незажатом) состоянии. 1.2 Этот метод испытаний предназначен в первую очередь для использования с пластинами, которые соответствуют требованиям к размерам и допускам, указанным в спецификациях SEMI M1. 1.3 Этот метод испытаний также может применяться к круглым пластинам из других полупроводниковых материалов, таких как арсенид галлия, или к материалам электронной подложки, таким как сапфир или гадолиний-галлиевый гранат, диаметром 25 мм или более, толщиной 0,18 мм или более. и отношение диаметра к толщине до 250. Испытуемые пластины могут иметь одну или несколько контрольных граней при условии, что они расположены таким образом, чтобы срез можно было центрировать на опорных пьедесталах (см. 7.1.2) без падения. . 1.4 Значения, указанные в дюймах-фунтах, следует рассматривать как стандартные. Значения, указанные в скобках, предназначены только для информации. 1.5 Настоящий стандарт не претендует на решение проблем безопасности, если таковые имеются, связанных с его использованием. Пользователь настоящего стандарта несет ответственность за установление соответствующих мер безопасности и охраны труда, а также определение применимости нормативных ограничений перед использованием.

ASTM F534-02a Ссылочный документ

ASTM F1390 Стандартный метод испытаний для измерения деформации кремниевых пластин методом автоматического бесконтактного сканирования*， 1997-10-26 Обновление
ASTM F533 Стандартный метод испытаний толщины и изменения толщины кремниевых пластин*， 1996-10-26 Обновление
ASTM F657
ISO 14644-1 Чистые помещения и связанные с ними контролируемые среды. Часть 1. Классификация чистоты воздуха по концентрации частиц*， 2015-12-01 Обновление

ASTM F534-02a История

1970 ASTM F534-02a
2002 ASTM F534-02 Стандартный метод испытаний дуги из кремниевых пластин
2002 ASTM F534-97 Стандартный метод испытаний дуги из кремниевых пластин