1.1 Настоящий метод испытаний охватывает определение средней величины изгиба номинально круглых кремниевых пластин, полированных или неполированных, в свободном (незажатом) состоянии. 1.2 Этот метод испытаний предназначен в первую очередь для использования с пластинами, которые соответствуют требованиям к размерам и допускам, указанным в спецификациях SEMI M1. 1.3 Этот метод испытаний также может применяться к круглым пластинам из других полупроводниковых материалов, таких как арсенид галлия, или к материалам электронной подложки, таким как сапфир или гадолиний-галлиевый гранат, диаметром 25 мм или более, толщиной 0,18 мм или больше, а отношение диаметра к толщине — до 250. Испытуемые пластины могут иметь одну или несколько контрольных лысок при условии, что они расположены таким образом, что срез можно центрировать на опорных подставках (см. 7.1.2), не падая. выключенный. 1.4 Значения, указанные в дюймах-фунтах, следует рассматривать как стандартные. Значения, указанные в скобках, предназначены только для информации. 1.5 Настоящий стандарт не претендует на решение всех проблем безопасности, если таковые имеются, связанных с его использованием. Пользователь настоящего стандарта несет ответственность за установление соответствующих мер безопасности и охраны труда и определение применимости нормативных ограничений перед использованием.