ISO 15632:2021 Микролучевой анализ. Отдельные параметры рабочих характеристик прибора для спецификации и проверки энергодисперсионных рентгеновских спектрометров (EDS) для использования со сканирующим электронным микроскопом (SEM) или электронно-зондовым микроанализатором (EPMA).

сфера применения: В этом документе определены наиболее важные величины, характеризующие энергодисперсионный рентгеновский спектрометр, состоящий из полупроводникового детектора, предварительного усилителя и блока обработки сигналов как основных частей. Этот документ применим только к спектрометрам с полупроводниковыми детекторами, работающими по принципу твердотельной ионизации. В этом документе указаны минимальные требования и порядок проверки соответствующих рабочих параметров прибора для таких спектрометров, прикрепленных к сканирующему электронному микроскопу (SEM) или электронно-зондовому микроанализатору (EPMA). Процедура, используемая для фактического анализа, описана в ISO 22309[2] и ASTM E1508[3] и выходит за рамки данного документа.

ISO 15632:2021 Ссылочный документ

ISO 22493 Микролучевой анализ - Сканирующая электронная микроскопия - Словарь
ISO 23833 Микролучевой анализ - Электронно-зондовый микроанализ (ЭПМА) - Словарь

2021 ISO 15632:2021 Микролучевой анализ. Отдельные параметры рабочих характеристик прибора для спецификации и проверки энергодисперсионных рентгеновских спектрометров (EDS) для использования со сканирующим электронным микроскопом (SEM) или электронно-зондовым микроанализатором (EPMA).
2012 ISO 15632:2012 Микролучевой анализ. Отдельные параметры производительности прибора для спецификации и проверки энергодисперсионных рентгеновских спектрометров для использования в электронно-зондовом микроанализе.
2002 ISO 15632:2002 Микролучевой анализ. Технические характеристики энергодисперсионных рентгеновских спектрометров с полупроводниковыми детекторами.