Настоящий стандарт определяет важнейшие величины, характеризующие характеристики рентгеновских энергетических спектрометров (ЭДС) на основе полупроводниковых детекторов, предусилителей и систем обработки сигналов. Настоящий стандарт распространяется только на полупроводниковые детекторы ЭДС, основанные на принципе твердотельной ионизации. Этот стандарт устанавливает только минимальные требования к EDS, такие как электронный зонд (EPMA) или сканирующий электронный микроскоп (SEM), а способы реализации анализа не входят в сферу применения этого стандарта.
ISO 15632:2002 История
2021ISO 15632:2021 Микролучевой анализ. Отдельные параметры рабочих характеристик прибора для спецификации и проверки энергодисперсионных рентгеновских спектрометров (EDS) для использования со сканирующим электронным микроскопом (SEM) или электронно-зондовым микроанализатором (EPMA).
2012ISO 15632:2012 Микролучевой анализ. Отдельные параметры производительности прибора для спецификации и проверки энергодисперсионных рентгеновских спектрометров для использования в электронно-зондовом микроанализе.
2002ISO 15632:2002 Микролучевой анализ. Технические характеристики энергодисперсионных рентгеновских спектрометров с полупроводниковыми детекторами.