ISO 29301:2017 Микролучевой анализ. Аналитическая электронная микроскопия. Методы калибровки увеличения изображения с использованием эталонных материалов с периодической структурой.
В этом документе описана процедура калибровки, применимая к изображениям, записанным в широком диапазоне увеличений с помощью просвечивающего электронного микроскопа (ПЭМ). Эталонные материалы, используемые для калибровки, обладают периодической структурой, такой как копия дифракционной решетки, сверхрешетчатая структура полупроводника или анализирующий кристалл для рентгеновского анализа, а также изображение кристаллической решетки углерода, золота или кремния. Этот документ применим к увеличению изображения ПЭМ, записанного на фотопленку или визуальную пластинку или обнаруженного датчиком изображения, встроенным в цифровую камеру. Этот документ также относится к калибровке масштабной линейки. Этот документ не распространяется на специализированный ПЭМ для измерения критических размеров (CD-TEM) и сканирующий просвечивающий электронный микроскоп (STEM).
ISO 29301:2017 Ссылочный документ
ISO 16700:2016 Микролучевой анализ. Сканирующая электронная микроскопия. Рекомендации по калибровке увеличения изображения.
ISO 17034:2016 Общие требования к компетентности производителей стандартных образцов
ISO 5725-1:1994 Точность (правдивость и прецизионность) методов и результатов измерений. Часть 1. Общие принципы и определения.
ISO GUIDE 30:2015 Справочные материалы - Избранные термины и определения
ISO GUIDE 35:2017 Сертификация стандартных образцов. Общие и статистические принципы
ISO/IEC 17025:2005 Общие требования к компетентности испытательных и калибровочных лабораторий
ISO/IEC GUIDE 98-3:2008 Неопределенность измерения. Часть 3. Руководство по выражению неопределенности измерения (GUM:1995).
ISO 29301:2017 История
2023ISO 29301:2023 Микролучевой анализ. Аналитическая электронная микроскопия. Методы калибровки увеличения изображения с использованием эталонных материалов с периодической структурой.
2017ISO 29301:2017 Микролучевой анализ. Аналитическая электронная микроскопия. Методы калибровки увеличения изображения с использованием эталонных материалов с периодической структурой.
2010ISO 29301:2010 Микролучевой анализ. Аналитическая трансмиссионная электронная микроскопия. Методы калибровки увеличения изображения с использованием эталонных материалов, имеющих периодическую структуру.