ISO 16700:2016 Микролучевой анализ. Сканирующая электронная микроскопия. Рекомендации по калибровке увеличения изображения.

сфера применения: Настоящий международный стандарт определяет метод калибровки увеличения изображений, создаваемых сканирующим электронным микроскопом (СЭМ), с использованием соответствующего эталонного материала. Этот метод ограничен увеличением, определяемым доступным диапазоном размеров структур в калибровочном эталонном материале. Настоящий международный стандарт не распространяется на специализированный РЭМ для измерения критических размеров.

ISO 16700:2016 Ссылочный документ

ISO 5725-1:1994 Точность (правдивость и прецизионность) методов и результатов измерений. Часть 1. Общие принципы и определения.
ISO GUIDE 30:2015 Справочные материалы - Избранные термины и определения
ISO GUIDE 34:2009 Общие требования к компетентности производителей стандартных образцов
ISO GUIDE 35:2006 Справочные материалы. Общие и статистические принципы сертификации.
ISO/IEC 17025:2005 Общие требования к компетентности испытательных и калибровочных лабораторий
ISO/IEC GUIDE 98-3:2008 Неопределенность измерения. Часть 3. Руководство по выражению неопределенности измерения (GUM:1995).

2016 ISO 16700:2016 Микролучевой анализ. Сканирующая электронная микроскопия. Рекомендации по калибровке увеличения изображения.
2004 ISO 16700:2004 Микролучевой анализ. Сканирующая электронная микроскопия. Рекомендации по калибровке увеличения изображения.