ISO 16700:2004 Микролучевой анализ. Сканирующая электронная микроскопия. Рекомендации по калибровке увеличения изображения.

сфера применения: Настоящий международный стандарт определяет метод калибровки увеличения изображений, создаваемых сканирующим электронным микроскопом (СЭМ), с использованием соответствующего эталонного материала. Этот метод ограничен увеличением, определяемым доступным диапазоном размеров структур в калибровочном эталонном материале. Настоящий международный стандарт не распространяется на специализированный РЭМ для измерения критических размеров.

ISO 16700:2004 Ссылочный документ

ISO 5725-1:1994 Точность (правдивость и прецизионность) методов и результатов измерений. Часть 1. Общие принципы и определения.
ISO Guide 30:1992 Термины и определения, используемые в отношении справочных материалов
ISO Guide 34:1996 Руководство по системе качества для производства стандартных образцов
ISO Guide 35:1989 Сертификация стандартных образцов. Общие и статистические принципы
ISO/IEC 17025:1999 Общие требования к компетентности испытательных и калибровочных лабораторий

2016 ISO 16700:2016 Микролучевой анализ. Сканирующая электронная микроскопия. Рекомендации по калибровке увеличения изображения.
2004 ISO 16700:2004 Микролучевой анализ. Сканирующая электронная микроскопия. Рекомендации по калибровке увеличения изображения.