IEC 62951-1:2017 Полупроводниковые приборы. Гибкие и растяжимые полупроводниковые приборы. Часть 1. Метод испытания на изгиб проводящих тонких пленок на гибких подложках.
Эта часть IEC 62951 определяет метод испытаний на изгиб для измерения электромеханических свойств или гибкости проводящих тонких пленок, нанесенных или прикрепленных к гибким непроводящим подложкам. Тонкие проводящие пленки на гибких подложках широко используются в гибких электронных устройствах и гибких полупроводниках. Проводящие тонкие пленки включают любые пленки, нанесенные или прикрепленные к непроводящей гибкой подложке, такой как тонкая металлическая пленка, прозрачный проводящий электрод и тонкая кремниевая пленка. Электрическое и механическое поведение тонких пленок на гибких подложках отличается от поведения отдельно стоящих пленок и подложек из-за их межфазных взаимодействий и адгезии между пленкой и подложкой. Целью настоящего стандарта является установление простых и воспроизводимых методов испытаний для оценки электромеханических свойств или гибкости проводящих тонких пленок на гибкой подложке. Методы испытаний на изгиб включают испытание на внешний изгиб и испытание на внутренний изгиб.
IEC 62951-1:2017 Ссылочный документ
IEC 62047-22:2014 Полупроводниковые приборы. Микроэлектромеханические устройства. Часть 22. Метод электромеханического испытания на растяжение проводящих тонких пленок на гибких подложках.
IEC 62047-2:2006 Полупроводниковые приборы. Микроэлектромеханические устройства. Часть 2. Метод испытания тонкопленочных материалов на растяжение.
IEC 62951-1:2017 История
2017IEC 62951-1:2017 Полупроводниковые приборы. Гибкие и растяжимые полупроводниковые приборы. Часть 1. Метод испытания на изгиб проводящих тонких пленок на гибких подложках.