IEC 62047-2:2006
Полупроводниковые приборы. Микроэлектромеханические устройства. Часть 2. Метод испытания тонкопленочных материалов на растяжение.
- Стандартный №
- IEC 62047-2:2006
- Дата публикации
- 2006
- Разместил
- International Electrotechnical Commission (IEC)
- Последняя версия
- IEC 62047-2:2006
- заменять
- IEC 47/1865/FDIS:2006
- сфера применения
- Настоящий международный стандарт определяет метод испытания на растяжение тонкопленочных материалов длиной и шириной менее 1 мм и толщиной менее 10 мкм, которые являются основными конструкционными материалами для микроэлектромеханических систем (МЭМС), микромашин и подобных устройств. Основные конструкционные материалы для МЭМС, микромашин и подобных устройств имеют такие особенности, как типичные размеры порядка нескольких микрон, изготовление материала методом осаждения, а также изготовление образца методом немеханической обработки с использованием травления и фотолитографии. Настоящий международный стандарт определяет метод испытаний, который позволяет гарантировать точность, соответствующую особым характеристикам.
IEC 62047-2:2006 История
- 2006 IEC 62047-2:2006 Полупроводниковые приборы. Микроэлектромеханические устройства. Часть 2. Метод испытания тонкопленочных материалов на растяжение.
