IEC 62047-22:2014 Полупроводниковые приборы. Микроэлектромеханические устройства. Часть 22. Метод электромеханического испытания на растяжение проводящих тонких пленок на гибких подложках.

Стандартный №: IEC 62047-22:2014
Дата публикации: 2014
Разместил: International Electrotechnical Commission (IEC)
Последняя версия: IEC 62047-22:2014
заменять: IEC 47F/186/FDIS:2014

сфера применения: Эта часть IEC 62047 определяет метод испытаний на растяжение для измерения электромеханических свойств проводящих тонких материалов микроэлектромеханических систем (МЭМС), прикрепленных к непроводящим гибким подложкам. Проводящие тонкопленочные структуры на гибких подложках широко используются в потребительских товарах МЭМС и гибкой электронике. Электрическое поведение пленок на гибких подложках отличается от поведения отдельно стоящих пленок и подложек из-за их межфазных взаимодействий. Различные комбинации гибких подложек и тонких пленок часто приводят к различному влиянию на результаты испытаний в зависимости от условий испытаний и межфазной адгезии. Требуемая толщина тонкого МЭМС-материала в 50 раз тоньше, чем толщина гибкой подложки, тогда как все остальные размеры аналогичны друг другу.

IEC 62047-22:2014 Ссылочный документ

IEC 62047-2:2006 Полупроводниковые приборы. Микроэлектромеханические устройства. Часть 2. Метод испытания тонкопленочных материалов на растяжение.
IEC 62047-3:2006 Полупроводниковые приборы. Микроэлектромеханические устройства. Часть 3. Стандартный тонкопленочный образец для испытаний на растяжение.
IEC 62047-8:2011 Полупроводниковые приборы. Микроэлектромеханические устройства. Часть 8. Метод испытания полос на изгиб для измерения свойств тонких пленок на растяжение.
ISO 527-3:1995 Пластмассы. Определение свойств на растяжение. Часть 3. Условия испытаний пленок и листов.

IEC 62047-22:2014 История

2014 IEC 62047-22:2014 Полупроводниковые приборы. Микроэлектромеханические устройства. Часть 22. Метод электромеханического испытания на растяжение проводящих тонких пленок на гибких подложках.