GB/T 32495-2016 (Англоязычная версия) Химический анализ поверхности. Вторично-ионная масс-спектрометрия. Метод глубинного профилирования мышьяка в кремнии.

Стандартный №: GB/T 32495-2016
язык: Китайский, Доступно на английском
Дата публикации: 2016
Разместил: General Administration of Quality Supervision, Inspection and Quarantine of the People‘s Republic of China
Последняя версия: GB/T 32495-2016

сфера применения: Настоящий стандарт подробно определяет метод профилирования мышьяка в кремнии по глубине с помощью секторного магнитного поля или квадрупольного вторично-ионного масс-спектрометра, а также метод калибровки по глубине с помощью щупового профилометра или оптического интерферометра. Настоящий стандарт применим к монокристаллическому кремнию, поликристаллическому кремнию. Для образцов кристаллического кремния глубина ямки составляет 50 нм или более.

GB/T 32495-2016 Ссылочный документ

GB/T 20176-2006 Химический анализ поверхности. Вторично-ионная масс-спектрометрия. Определение атомной концентрации бора в кремнии с использованием однородно легированных материалов.
GB/T 22461-2008 Химический анализ поверхности. Словарь.
GB/T 25186-2010 Химический анализ поверхности. Вторично-ионная масс-спектрометрия. Определение коэффициентов относительной чувствительности по ионно-имплантированным стандартным образцам.
ISO 18115-1 Химический анализ поверхности. Словарь. Часть 1. Общие термины и термины, используемые в спектроскопии.*， 2023-06-01 Обновление

2016 GB/T 32495-2016 Химический анализ поверхности. Вторично-ионная масс-спектрометрия. Метод глубинного профилирования мышьяка в кремнии.