GB/T 20176-2006
Химический анализ поверхности. Вторично-ионная масс-спектрометрия. Определение атомной концентрации бора в кремнии с использованием однородно легированных материалов. (Англоязычная версия)
- Стандартный №
- GB/T 20176-2006
- язык
- Китайский, Доступно на английском
- Дата публикации
- 2006
- Разместил
- General Administration of Quality Supervision, Inspection and Quarantine of the People‘s Republic of China
- Последняя версия
- GB/T 20176-2006
- сфера применения
- Настоящий стандарт определяет метод вторичной ионной масс-спектрометрии для определения атомной концентрации бора в монокристаллическом кремнии с использованием калиброванной гомогенной легирующей добавки (калиброванной с помощью эталонного вещества, имплантированного бором). Он подходит для однородной концентрации легирования бором в диапазоне от 1×1016 атомов/см3 до 1×1020 атомов/см3.
GB/T 20176-2006 Ссылочный документ
- ISO 5725-2:1994 Точность (правильность и прецизионность) методов и результатов измерений. Часть 2. Основной метод определения повторяемости и воспроизводимости стандартного метода измерений.
GB/T 20176-2006 История
- 2006 GB/T 20176-2006 Химический анализ поверхности. Вторично-ионная масс-спектрометрия. Определение атомной концентрации бора в кремнии с использованием однородно легированных материалов.
