SJ/T 11494-2015
Методы испытаний фотолюминесцентного анализа монокристаллического кремния на примеси III-V классов. (Англоязычная версия)

Стандартный №

SJ/T 11494-2015

язык

Китайский, Доступно на английском

Дата публикации

2015

Разместил

Professional Standard - Electron

Последняя версия

SJ/T 11494-2015

сфера применения

Настоящий стандарт определяет метод фотолюминесцентных испытаний примесей бора и фосфора в монокристаллах кремния. Настоящий стандарт распространяется на определение содержания электропроводных примесей бора и фосфора в монокристаллах кремния с низкой плотностью дислокаций (< 500/см), а также распространяется на определение монокристаллов кремния с содержанием 1×10 ат см до 5×10 ат·см различных электрически активных примесей.

SJ/T 11494-2015 Ссылочный документ

• GB/T 13389 Практика преобразования между удельным сопротивлением и плотностью легирующей примеси для кремния, легированного бором, фосфором и мышьяком.
• GB/T 24581 Метод определения содержания примесей Ⅲ и Ⅴ в монокристаллическом кремнии — метод низкотемпературного ИК-Фурье анализа.*， 2022-03-09 Обновление

SJ/T 11494-2015 История

• 2015 SJ/T 11494-2015 Методы испытаний фотолюминесцентного анализа монокристаллического кремния на примеси III-V классов.