GB/T 32189-2015 (Англоязычная версия) Атомно-силовая микроскопия. Исследование шероховатости поверхности монокристаллической подложки нитрида галлия.

Стандартный №: GB/T 32189-2015
язык: Китайский, Доступно на английском
Дата публикации: 2016
Разместил: General Administration of Quality Supervision, Inspection and Quarantine of the People‘s Republic of China
Последняя версия: GB/T 32189-2015

сфера применения: Настоящий стандарт определяет метод проверки шероховатости поверхности химически долговечной монокристаллической подложки с помощью атомно-силового микроскопа. Настоящий стандарт распространяется на азотированные однородные подложки, выращенные методом химического осаждения из газовой фазы и другими методами, с шероховатостью поверхности менее 10 нм. Другие однокомпонентные полупроводниковые подложки с аналогичной структурой поверхности должны быть испытаны методами, предусмотренными настоящим стандартом, и обе стороны испытания должны достичь соглашения путем переговоров.

GB/T 32189-2015 Ссылочный документ

GB/T 14264 Полупроводниковые материалы. Термины и определения
GB/T 27760 Метод испытаний для калибровки z-увеличения атомно-силового микроскопа на субнанометровых уровнях смещения с использованием одноатомных ступеней Si(111)
GB/T 3505 Геометрические характеристики изделия (GPS). Текстура поверхности: метод профиля. Термины, определения и параметры текстуры поверхности.
JJF 1351 Спецификация калибровки для сканирующих зондовых микроскопов

2016 GB/T 32189-2015 Атомно-силовая микроскопия. Исследование шероховатости поверхности монокристаллической подложки нитрида галлия.