National Metrological Technical Specifications of the People's Republic of China
Последняя версия
JJF 1351-2012
сфера применения
Настоящая спецификация применяется к калибровке сканирующих зондовых микроскопов, в которых в качестве объекта измерения используется геометрическая топография поверхности. В зависимости от принципов построения сканирующих зондовых микроскопов необходимо выбирать соответствующие метрологические характеристики в соответствии с реальной ситуацией при калибровке. Задачи измерений с особыми требованиями, например, с высокими требованиями к прослеживаемости, не входят в сферу применения настоящей спецификации калибровки.
JJF 1351-2012 Ссылочный документ
GB/T 19067.1-2003 Геометрические характеристики изделия (GPS). Текстура поверхности. Стандарты измерения метода профиля. Часть 1. Измерения материала.
JJF 1001-2011 Общие термины метрологии и их определения
JJF 1351-2012 История
2012JJF 1351-2012 Спецификация калибровки для сканирующих зондовых микроскопов