ASTM D7980-15
Стандартное руководство по ионно-хроматографическому анализу анионов в пробах сверхчистой воды (UPW) в полупроводниковой промышленности
- Стандартный №
- ASTM D7980-15
- Дата публикации
- 2015
- Разместил
- American Society for Testing and Materials (ASTM)
- состояние
- быть заменен
- ASTM D7980-15(2023)
- Последняя версия
- ASTM D7980-15(2023)
- сфера применения
- 4.1 Это руководство предназначено для помощи аналитикам полупроводниковой промышленности. Примеры полезности мониторинга анионов включают в себя: (1) определение того, когда необходимо регенерировать слои ионообменной смолы (в системах очистки воды), и (2) обеспечение того, чтобы уровни анионов были достаточно низкими, чтобы можно было использовать воду для производство полупроводниковых приборов. 4.2 Чтобы убедиться, что анионы действительно находятся на низком уровне ppt, рекомендуется проверить проводимость подобразца, прежде чем переходить к разделу 5 настоящего руководства. Эта проверка не обязательно должна быть точной; его цель — просто сообщить аналитику, превышает ли проводимость тестируемого стандартного раствора самого высокого уровня. Любое высокое значение означает, что образец, если его анализировать, может загрязнить прибор. 1.1 Настоящее руководство применимо к сверхчистой воде, которая, как считается, содержит низкие уровни анионных примесей (например, бромидов, хлоридов, фторидов, нитратов, нитритов, фосфатов) на содержание ppt (частей на триллион, вес/вес). и сульфат). Чтобы свести к минимуму проблемы переноса между анализами, лучше всего ограничить концентрацию любого примеси примерно до 200 частей на миллион (хотя этот предел является лишь приблизительным и может варьироваться в зависимости от применения пользователя). 1.2 Это руководство призвано помочь аналитикам избежать загрязнения проб сверхчистой воды, поскольку контроль загрязнения является основной задачей при количественном определении анионов на уровне ppt в пробах. 1.3. Настоящее руководство не содержит рекомендаций по сбору проб из источника воды. 1.4. Настоящий стандарт не претендует на решение всех проблем безопасности, если таковые имеются, связанных с его использованием. Пользователь настоящего стандарта несет ответственность за установление соответствующих мер безопасности и охраны труда и определение применимости нормативных ограничений перед использованием.
ASTM D7980-15 Ссылочный документ
- ASTM D1129 Стандартная терминология, касающаяся воды
- ASTM D5127 Стандартное руководство для сверхчистой воды, используемой в электронной и полупроводниковой промышленности
ASTM D7980-15 История
- 2023 ASTM D7980-15(2023) Стандартное руководство по ионно-хроматографическому анализу анионов в пробах сверхчистой воды (UPW) в полупроводниковой промышленности
- 2015 ASTM D7980-15 Стандартное руководство по ионно-хроматографическому анализу анионов в пробах сверхчистой воды (UPW) в полупроводниковой промышленности
