ASTM D7980-15(2023)
Стандартное руководство по ионно-хроматографическому анализу анионов в пробах сверхчистой воды (UPW) в полупроводниковой промышленности

Стандартный №

ASTM D7980-15(2023)

Дата публикации

2023

Разместил

American Society for Testing and Materials (ASTM)

Последняя версия

ASTM D7980-15(2023)

сфера применения

1.1 Настоящее руководство применимо к сверхчистой воде, которая, как считается, содержит низкие уровни анионных примесей (частей на триллион, вес/вес) (например, бромидов, хлоридов, фторидов, нитратов, нитритов, фосфатов и сульфатов). Чтобы свести к минимуму проблемы переноса между анализами, лучше всего ограничить концентрацию любого примеси примерно до 200 частей на миллион (хотя этот предел является лишь приблизительным и может варьироваться в зависимости от приложения пользователя). 1.2 Настоящее руководство призвано помочь аналитикам избежать загрязнения проб сверхчистой воды, поскольку контроль загрязнения является основной задачей при количественном определении анионов на уровне ppt в пробах. 1.3 Настоящее руководство не содержит рекомендаций по сбору проб из источника воды. 1.4 Настоящий стандарт не претендует на решение всех проблем безопасности, если таковые имеются, связанных с его использованием. Пользователь настоящего стандарта несет ответственность за установление соответствующих мер безопасности, охраны труда и окружающей среды, а также определение применимости нормативных ограничений перед использованием. 1.5 Настоящий международный стандарт был разработан в соответствии с международно признанными принципами стандартизации, установленными в Решении о принципах разработки международных стандартов, руководств и рекомендаций, выпущенном Комитетом Всемирной торговой организации по техническим барьерам в торговле (ТБТ).

ASTM D7980-15(2023) Ссылочный документ

• ASTM D1129 Стандартная терминология, касающаяся воды
• ASTM D5127  Стандартное руководство для сверхчистой воды, используемой в электронной и полупроводниковой промышленности

ASTM D7980-15(2023) История

• 2023 ASTM D7980-15(2023) Стандартное руководство по ионно-хроматографическому анализу анионов в пробах сверхчистой воды (UPW) в полупроводниковой промышленности
• 2015 ASTM D7980-15 Стандартное руководство по ионно-хроматографическому анализу анионов в пробах сверхчистой воды (UPW) в полупроводниковой промышленности