DIN 50451-6:2014
Испытание материалов для полупроводниковой техники. Определение следов элементов в жидкостях. Часть 6. Определение 36 элементов в особо чистом растворе фторида аммония (NH4F) и в травильных смесях особо чистого раствора фторида аммония.