DIN 50451-6 E:2012-11
Испытание материалов для полупроводниковой техники - Определение следов элементов в жидкостях - Часть 6. Определение 36 элементов в особо чистом растворе фторида аммония (NH4F) и в травильных смесях особо чистого раствора фторида аммония