DIN 50451-5:2010
Испытание материалов для полупроводниковой техники. Определение микроэлементов в жидкостях. Часть 5. Руководство по выбору материалов и проверке их пригодности для аппаратуры для отбора проб и подготовки проб для определения t.
- Стандартный №
- DIN 50451-5:2010
- Дата публикации
- 2010
- Разместил
- German Institute for Standardization
- состояние
- быть заменен
- DIN 50451-5 E:2022-02
- Последняя версия
- DIN 50451-5:2022-08
- заменять
- DIN 50451-5:2008
- сфера применения
- В настоящем документе приведены рекомендации по выбору материалов и проверке их пригодности для аппаратуры для отбора и пробоподготовки, используемой для определения микроэлементов в химических продуктах высокой чистоты для полупроводниковой техники. Он применим для определения микроэлементов в диапазонах микрограммов на килограмм и нанограммов на килограмм.
DIN 50451-5:2010 Ссылочный документ
- DIN 50451-3 Испытание материалов для полупроводниковой техники. Определение следов элементов в жидкостях. Часть 3. Определение 31 элемента в азотной кислоте высокой чистоты методом ИСП-МС.*， 2014-11-01 Обновление
- DIN 50451-4 Испытание материалов для полупроводниковой техники. Определение микроэлементов в жидкостях. Часть 4. Определение 34 элементов в сверхчистой воде методом масс-спектрометрии с индуктивно-связанной плазмой (ИСП-МС).
DIN 50451-5:2010 История
- 1970 DIN 50451-5:2022-08
- 1970 DIN 50451-5 E:2022-02
- 2010 DIN 50451-5:2010 Испытание материалов для полупроводниковой техники. Определение микроэлементов в жидкостях. Часть 5. Руководство по выбору материалов и проверке их пригодности для аппаратуры для отбора проб и подготовки проб для определения t.
- 1970 DIN 50451-5 E:2008-09
- 0000 DIN 50451-5:2008
