DIN 50451-3:2014-11
Испытание материалов для полупроводниковой техники. Определение следов элементов в жидкостях. Часть 3. Определение 31 элемента в азотной кислоте высокой чистоты методом ИСП-МС.
- Стандартный №
- DIN 50451-3:2014-11
- Дата публикации
- 2014
- Разместил
- German Institute for Standardization
- Последняя версия
- DIN 50451-3:2014-11
DIN 50451-3:2014-11 История
- 2014 DIN 50451-3:2014-11 Испытание материалов для полупроводниковой техники. Определение следов элементов в жидкостях. Часть 3. Определение 31 элемента в азотной кислоте высокой чистоты методом ИСП-МС.
- 2014 DIN 50451-3:2014 Испытание материалов для полупроводниковой техники. Определение следов элементов в жидкостях. Часть 3. Определение 31 элемента в азотной кислоте высокой чистоты методом ИСП-МС.
- 2003 DIN 50451-3:2003 Испытание материалов для полупроводниковой техники. Определение следов элементов в жидкостях. Часть 3. Алюминий (Al), кобальт (Co), медь (Cu), натрий (Na), никель (Ni) и цинк (Zn) в азотной кислоте. методом ИСП-МС
