DIN 50451-3:2014
Испытание материалов для полупроводниковой техники. Определение следов элементов в жидкостях. Часть 3. Определение 31 элемента в азотной кислоте высокой чистоты методом ИСП-МС.
- Стандартный №
- DIN 50451-3:2014
- Дата публикации
- 2014
- Разместил
- German Institute for Standardization
- состояние
- быть заменен
- DIN 50451-3:2014-11
- Последняя версия
- DIN 50451-3:2014-11
- заменять
- DIN 50451-3:2003 DIN 50451-3:2012
DIN 50451-3:2014 Ссылочный документ
- ASTM D5127-13 Стандартное руководство для сверхчистой воды, используемой в электронной и полупроводниковой промышленности*， 2023-11-08 Обновление
- DIN 32645:2008 Химический анализ. Предел решения, предел обнаружения и предел определения в условиях повторяемости. Термины, методы, оценка
- DIN 50451-5:2010 Испытание материалов для полупроводниковой техники. Определение микроэлементов в жидкостях. Часть 5. Руководство по выбору материалов и проверке их пригодности для аппаратуры для отбора проб и подготовки проб для определения t.
- DIN 51009:2013 Оптический атомно-спектральный анализ. Принципы и определения
- DIN EN ISO 1042:1999 Посуда лабораторная стеклянная. Колбы мерные с одной отметкой (ISO 1042:1998); Немецкая версия EN ISO 1042:1999.
- DIN EN ISO 1043-1:2012 Пластмассы. Символы и сокращенные термины. Часть 1. Основные полимеры и их особые характеристики (ISO 1043-1:2011); Немецкая версия EN ISO 1043-1:2011.
- DIN EN ISO 14644-1:1999 Чистые помещения и связанные с ними контролируемые среды. Часть 1. Классификация чистоты воздуха (ISO 14644-1:1999); Немецкая версия EN ISO 14644-1:1999.
- DIN EN ISO 17294-2:2005 Качество воды. Применение масс-спектрометрии с индуктивно связанной плазмой (ICP-MS). Часть 2. Определение 62 элементов (ISO 17294-2:2003); Немецкая версия EN ISO 17294-2:2004.
- DIN EN ISO 8655-2:2002 Приборы мерные поршневые. Часть 2. Пипетки поршневые (ISO 8655-2:2002); Немецкая версия EN ISO 8655-2:2002.
- DIN ISO 3696:1991 Вода для аналитических лабораторных целей; спецификации и методы испытаний; идентично ISO 3696:1987
- DIN ISO 5725-2:2002 Точность (правильность и прецизионность) методов и результатов измерений. Часть 2. Основной метод определения повторяемости и воспроизводимости стандартного метода измерения (ISO 5725-2:1994, включая техническое исправление 1:2002).
- DIN ISO 5725-4:2003 Точность (правильность и прецизионность) методов и результатов измерений. Часть 4. Основные методы определения правильности стандартного метода измерения (ISO 5725-4:1994).
DIN 50451-3:2014 История
- 2014 DIN 50451-3:2014-11 Испытание материалов для полупроводниковой техники. Определение следов элементов в жидкостях. Часть 3. Определение 31 элемента в азотной кислоте высокой чистоты методом ИСП-МС.
- 2014 DIN 50451-3:2014 Испытание материалов для полупроводниковой техники. Определение следов элементов в жидкостях. Часть 3. Определение 31 элемента в азотной кислоте высокой чистоты методом ИСП-МС.
- 2003 DIN 50451-3:2003 Испытание материалов для полупроводниковой техники. Определение следов элементов в жидкостях. Часть 3. Алюминий (Al), кобальт (Co), медь (Cu), натрий (Na), никель (Ni) и цинк (Zn) в азотной кислоте. методом ИСП-МС
