DIN 32567-3:2014
Производственное оборудование для микросистем. Определение влияния материалов на оптическую и тактильную размерную метрологию. Часть 3. Вывод поправочных значений для тактильных измерительных приборов.
- Стандартный №
- DIN 32567-3:2014
- Дата публикации
- 2014
- Разместил
- German Institute for Standardization
- состояние
- быть заменен
- DIN 32567-3:2014-10
- Последняя версия
- DIN 32567-3:2014-10
- заменять
- DIN 32567-3:2012
DIN 32567-3:2014 Ссылочный документ
- DIN 32564-1:2004 Производственное оборудование для микросистем. Термины и определения. Часть 1. Общие положения по микросистемной технике.
- DIN 32567-1 Производственное оборудование для микросистем. Определение влияния материалов на оптическую и тактильную размерную метрологию. Часть 1. Качественная оценка влияния материалов и конкретных процедур.*， 2015-06-01 Обновление
- DIN 32567-2:2014 Производственное оборудование для микросистем. Определение влияния материалов на оптическую и тактильную размерную метрологию. Часть 2. Образцы для тактильных процедур.
- DIN EN ISO 12179:2000 Геометрические спецификации изделия (GPS). Текстура поверхности: метод профиля. Калибровка контактных (щуповых) инструментов (ISO 12179:2000); Немецкая версия EN ISO 12179:2000.
- DIN EN ISO 25178-601:2011 Геометрические характеристики изделия (GPS). Текстура поверхности: Площадь. Часть 601. Номинальные характеристики контактных (щуповых) инструментов (ISO 25178-601:2010); Немецкая версия EN ISO 25178-601:2010.
- DIN EN ISO 3274:1998 Геометрические характеристики изделия (GPS). Текстура поверхности: метод профиля. Номинальные характеристики контактных (щуповых) инструментов (ISO 3274:1996); Немецкая версия EN ISO 3274:1997.
- DIN EN ISO 5436-1:2000 Геометрические характеристики изделия (GPS) – Текстура поверхности: метод профиля; Эталоны измерений. Часть 1. Материальные меры (ISO 5436-1:2000); Немецкая версия EN ISO 5436-1:2000.
- VDI/VDE 2617 Blatt 12.1-2011 Точность координатно-измерительных машин. Характеристики и их проверка. Приемо-сдаточные испытания для тактильных измерений микрогеометрии КИМ.
- VDI/VDE 2629 Blatt 1-2008 Точность контурно-измерительных систем - Характеристика и проверка характеристик - Приемочные и поверочные испытания контурно-измерительных систем методом тактильного щупа
- VDI/VDE 2655 Blatt 1.2-2010 Оптическое измерение микротопографии. Калибровка конфокальных микроскопов и эталонов глубины для измерения шероховатости.
- VDI/VDE 2656 Blatt 1-2008 Определение геометрических величин с помощью сканирующих зондовых микроскопов - Калибровка измерительных систем
DIN 32567-3:2014 История
- 2014 DIN 32567-3:2014-10 Производственное оборудование для микросистем. Определение влияния материалов на оптическую и тактильную размерную метрологию. Часть 3. Вывод поправочных значений для тактильных измерительных приборов.
- 2014 DIN 32567-3:2014 Производственное оборудование для микросистем. Определение влияния материалов на оптическую и тактильную размерную метрологию. Часть 3. Вывод поправочных значений для тактильных измерительных приборов.
- 1970 DIN 32567-3 E:2012-07
- 0000 DIN 32567-3:2012
