DIN 32567-2:2014 Производственное оборудование для микросистем. Определение влияния материалов на оптическую и тактильную размерную метрологию. Часть 2. Образцы для тактильных процедур.
DIN 32564-1:2004 Производственное оборудование для микросистем. Термины и определения. Часть 1. Общие положения по микросистемной технике.
DIN 32567-1 Производственное оборудование для микросистем. Определение влияния материалов на оптическую и тактильную размерную метрологию. Часть 1. Качественная оценка влияния материалов и конкретных процедур.*, 2015-06-01 Обновление
DIN 32567-3:2014 Производственное оборудование для микросистем. Определение влияния материалов на оптическую и тактильную размерную метрологию. Часть 3. Вывод поправочных значений для тактильных измерительных приборов.
DIN EN ISO 2808:2007 Краски и лаки. Определение толщины пленки (ISO 2808:2007) Английская версия DIN EN ISO 2808:2007-05
DIN 32567-2:2014 История
2014DIN 32567-2:2014-10 Производственное оборудование для микросистем. Определение влияния материалов на оптическую и тактильную размерную метрологию. Часть 2. Образцы для тактильных процедур.
2014DIN 32567-2:2014 Производственное оборудование для микросистем. Определение влияния материалов на оптическую и тактильную размерную метрологию. Часть 2. Образцы для тактильных процедур.