DIN 32567-2 E:2012-07 Производственное оборудование для микросистем. Определение влияния материалов на оптическую и тактильную размерную метрологию. Часть 2. Образцы для тактильных процедур.
2014DIN 32567-2:2014-10 Производственное оборудование для микросистем. Определение влияния материалов на оптическую и тактильную размерную метрологию. Часть 2. Образцы для тактильных процедур.
2014DIN 32567-2:2014 Производственное оборудование для микросистем. Определение влияния материалов на оптическую и тактильную размерную метрологию. Часть 2. Образцы для тактильных процедур.
1970DIN 32567-2 E:2012-07 Производственное оборудование для микросистем. Определение влияния материалов на оптическую и тактильную размерную метрологию. Часть 2. Образцы для тактильных процедур.