VDI/VDE 2656 Blatt 1-2008
Определение геометрических величин с помощью сканирующих зондовых микроскопов - Калибровка измерительных систем

Стандартный №

VDI/VDE 2656 Blatt 1-2008

Дата публикации

2008

Разместил

Association of German Mechanical Engineers

Последняя версия

VDI/VDE 2656 Blatt 1-2008

сфера применения

Настоящее руководство ограничивается сканирующими зондовыми микроскопами и их калибровкой. Сканирующий зондовый микроскоп — это серийно действующее измерительное устройство, которое использует зонд достаточной тонкости для отслеживания поверхности измеряемого объекта, используя локальное физическое взаимодействие (например, квантово-механический туннельный эффект, межатомные или межмолекулярные силы, затухающие моды электромагнитное поле), при этом зонд и измеряемый объект смещаются относительно друг друга в плоскости (далее — плоскость xy) по заданному шаблону, при этом сигнал взаимодействия регистрируется и может быть используется для контроля расстояния между датчиком и измеряемым объектом. В данном руководстве рассматриваются сигналы, используемые для определения топографии (далее называемые «z-сигнал»).

VDI/VDE 2656 Blatt 1-2008 История

• 2008 VDI/VDE 2656 Blatt 1-2008 Определение геометрических величин с помощью сканирующих зондовых микроскопов - Калибровка измерительных систем
• 2006 VDI/VDE 2656 Blatt 1-2006 Bestimmung geometrischer Messgroessen mit Rastersondermikroskopen - Kalibrierung von Messsystemen