ISO 12406:2010 Химический анализ поверхности. Вторично-ионная масс-спектрометрия. Метод глубинного профилирования мышьяка в кремнии.

сфера применения: Настоящий международный стандарт определяет масс-спектрометрический метод вторичных ионов с использованием магнитно-секторных или квадрупольных масс-спектрометров для определения профиля мышьяка в кремнии по глубине, а также с использованием стилусной профилометрии или оптической интерферометрии для калибровки глубины. Этот метод применим к образцам монокристаллического, поликристаллического или аморфного кремния с концентрацией атомов мышьяка от 1 × 1016 атомов/см3 до 2,5 × 1021 атомов/см3, а также для кратеров глубиной 50 нм или глубже.

ISO 12406:2010 Ссылочный документ

ISO 14237:2010 Химический анализ поверхности. Вторично-ионная масс-спектрометрия. Определение атомной концентрации бора в кремнии с использованием однородно легированных материалов.
ISO 18114:2003 Химический анализ поверхности. Вторично-ионная масс-спектрометрия. Определение коэффициентов относительной чувствительности на основе ионно-имплантированных эталонных материалов.
ISO 18115-1 Химический анализ поверхности. Словарь. Часть 1. Общие термины и термины, используемые в спектроскопии.*， 2023-06-01 Обновление

2010 ISO 12406:2010 Химический анализ поверхности. Вторично-ионная масс-спектрометрия. Метод глубинного профилирования мышьяка в кремнии.