ISO 18114:2003
Химический анализ поверхности. Вторично-ионная масс-спектрометрия. Определение коэффициентов относительной чувствительности на основе ионно-имплантированных эталонных материалов.
- Стандартный №
- ISO 18114:2003
- Дата публикации
- 2003
- Разместил
- International Organization for Standardization (ISO)
- состояние
- быть заменен
- ISO 18114:2021
- Последняя версия
- ISO 18114:2021
- сфера применения
- Настоящий международный стандарт определяет метод определения коэффициентов относительной чувствительности (RSF) для масс-спектрометрии вторичных ионов (SIMS) на основе ионно-имплантированных эталонных материалов. Метод применим к образцам, матрица которых имеет однородный химический состав и в которых пиковая концентрация имплантированных частиц не превышает одного атомного процента.
ISO 18114:2003 Ссылочный документ
- ISO 18115 Химический анализ поверхности - Словарь; Поправка 2*， 2007-12-01 Обновление
ISO 18114:2003 История
- 2021 ISO 18114:2021 Химический анализ поверхности. Вторично-ионная масс-спектрометрия. Определение коэффициентов относительной чувствительности на основе ионно-имплантированных эталонных материалов.
- 2003 ISO 18114:2003 Химический анализ поверхности. Вторично-ионная масс-спектрометрия. Определение коэффициентов относительной чувствительности на основе ионно-имплантированных эталонных материалов.
