ISO 18114:2021
Химический анализ поверхности. Вторично-ионная масс-спектрометрия. Определение коэффициентов относительной чувствительности на основе ионно-имплантированных эталонных материалов.
- Стандартный №
- ISO 18114:2021
- Дата публикации
- 2021
- Разместил
- International Organization for Standardization (ISO)
- Последняя версия
- ISO 18114:2021
- сфера применения
- В этом документе описан метод определения коэффициентов относительной чувствительности (RSF) для масс-спектрометрии вторичных ионов (SIMS) на основе ионно-имплантированных эталонных материалов. Метод применим к образцам, матрица которых имеет однородный химический состав и в которых пиковая концентрация имплантированных частиц не превышает одного атомного процента.
ISO 18114:2021 История
- 2021 ISO 18114:2021 Химический анализ поверхности. Вторично-ионная масс-спектрометрия. Определение коэффициентов относительной чувствительности на основе ионно-имплантированных эталонных материалов.
- 2003 ISO 18114:2003 Химический анализ поверхности. Вторично-ионная масс-спектрометрия. Определение коэффициентов относительной чувствительности на основе ионно-имплантированных эталонных материалов.
