ISO 14237:2010 Химический анализ поверхности. Вторично-ионная масс-спектрометрия. Определение атомной концентрации бора в кремнии с использованием однородно легированных материалов.

сфера применения: Настоящий международный стандарт определяет масс-спектрометрический метод вторичных ионов для определения атомной концентрации бора в монокристаллическом кремнии с использованием однородно легированных материалов, откалиброванных с помощью сертифицированного эталонного материала, имплантированного бором. Этот метод применим к однородно легированному бору в диапазоне концентраций от 1 × 1016 атомов/см3 до 1 × 1020 атомов/см3.

ISO 14237:2010 Ссылочный документ

ISO 17560 Химический анализ поверхности. Вторично-ионная масс-спектрометрия. Метод глубинного профилирования бора в кремнии.*， 2014-09-10 Обновление
ISO 18114 Химический анализ поверхности. Вторично-ионная масс-спектрометрия. Определение коэффициентов относительной чувствительности на основе ионно-имплантированных эталонных материалов.*， 2021-04-30 Обновление

2010 ISO 14237:2010 Химический анализ поверхности. Вторично-ионная масс-спектрометрия. Определение атомной концентрации бора в кремнии с использованием однородно легированных материалов.
2000 ISO 14237:2000 Химический анализ поверхности. Вторично-ионная масс-спектрометрия. Определение атомной концентрации бора в кремнии с использованием однородно легированных материалов.