ISO 14237:2000 Химический анализ поверхности. Вторично-ионная масс-спектрометрия. Определение атомной концентрации бора в кремнии с использованием однородно легированных материалов.
Настоящий международный стандарт определяет масс-спектрометрический метод вторичных ионов для определения атомной концентрации бора в монокристаллическом кремнии с использованием однородно легированных материалов, откалиброванных с помощью сертифицированного эталонного материала, имплантированного бором. Этот метод применим к однородно легированному бору в диапазоне концентраций от 1 × 10 атомов/см до 1 × 10 атомов/см.
ISO 14237:2000 История
2010ISO 14237:2010 Химический анализ поверхности. Вторично-ионная масс-спектрометрия. Определение атомной концентрации бора в кремнии с использованием однородно легированных материалов.
2000ISO 14237:2000 Химический анализ поверхности. Вторично-ионная масс-спектрометрия. Определение атомной концентрации бора в кремнии с использованием однородно легированных материалов.