ASTM F1724-96
Стандартный метод испытаний для измерения загрязнения поверхности поликристаллического кремния металлами методом кислотно-экстракционно-атомно-абсорбционной спектроскопии
- Стандартный №
- ASTM F1724-96
- Дата публикации
- 1996
- Разместил
- American Society for Testing and Materials (ASTM)
- состояние
- быть заменен
- ASTM F1724-01
- Последняя версия
- ASTM F1724-01
- сфера применения
- 1.1 Настоящий метод испытаний охватывает количественное определение поверхностного загрязнения микроэлементами на поверхности поликристаллического кремния с использованием кислоты для извлечения металлов с поверхности. Затем содержание металлов в кислоте анализируется с помощью атомно-абсорбционной спектроскопии в графитовой печи. 1.2 Этот метод испытаний можно использовать для различных размеров стержней, кусков, гранул и стружек поликристаллического или монокристаллического кремния для определения поверхностных металлических загрязнений. Поскольку площадь кусков, крошек или гранул неправильной формы трудно точно измерить, значения основаны на весе образца. Использование образца весом 300 г позволяет обеспечить пределы обнаружения на уровне 0,1 ppbw (частей на миллиард массы).1.3 Сила, состав, температура и время воздействия кислоты определяют глубину травления поверхности и эффективность экстракции загрязнения с поверхности. При использовании этого метода испытаний удаляется менее 1 % массы образца. 1.4 Этот метод испытаний полезен для определения щелочных элементов, щелочноземельных элементов и переходных элементов первого ряда, таких как натрий, калий, кальций, железо, хром, никель, медь, цинк, а также другие элементы, такие как алюминий. Извлечение этих элементов с поверхности кремния оценивается как более 90 % при использовании контрольных стандартов, намеренно добавленных к поверхности поликремния. 1.5 Этот метод испытаний предполагает определенный размер образца, кислотный состав, цикл травления, среду тестирования и протокол прибора. Могут использоваться вариации этих параметров, но они могут повлиять на эффективность извлечения или удерживание металлов во время обработки. На практике этот метод испытаний применяется для образцов массой от 25 до 5000 г. Для целей оценки в этом методе испытаний указана масса образца 300 г. Этот метод испытаний включает рекомендации по предупреждению аналитика о помехах и возникающих в результате отклонениях в этом методе испытаний, а также включает стандартные методы количественного определения и составления отчетов об этих отклонениях. 1.6 Этот метод испытаний предусматривает использование атомно-абсорбционной спектроскопии в графитовой печи для анализа содержания следовых металлов. кислотного экстракта. Могут использоваться другие инструменты эквивалентной чувствительности, такие как индуктивно-связанная плазма/масс-спектрометрия. 1.7 Предел обнаружения и вариация метода зависят от эффективности процедуры кислотной экстракции, размера образца, помех метода, спектра поглощения каждого элемента. 1.8. В этом методе испытаний используется горячая кислота для травления поверхности кремния. Травитель потенциально вреден, и с ним следует обращаться в вытяжном шкафу для кислотных вытяжек, всегда соблюдая максимальную осторожность. Растворы плавиковой кислоты особенно опасны и не должны использоваться лицами, не знакомыми со специфическими профилактическими мерами и методами оказания первой помощи, указанными в соответствующем паспорте безопасности материала. 1.9 Настоящий стандарт не претендует на решение всех проблем безопасности, если любые, связанные с его использованием. Пользователь настоящего стандарта несет ответственность за установление соответствующих мер безопасности и охраны труда и определение применимости нормативных ограничений перед использованием. Конкретные меры предосторожности приведены в разделе 9.
ASTM F1724-96 Ссылочный документ
- ASTM D5127 Стандартное руководство для сверхчистой воды, используемой в электронной и полупроводниковой промышленности*， 1999-11-09 Обновление
- ASTM E122 Стандартная практика расчета размера выборки для оценки с заданной допустимой погрешностью среднего значения характеристики партии или процесса*， 2000-10-10 Обновление
ASTM F1724-96 История
- 1970 ASTM F1724-01
- 1996 ASTM F1724-96 Стандартный метод испытаний для измерения загрязнения поверхности поликристаллического кремния металлами методом кислотно-экстракционно-атомно-абсорбционной спектроскопии
