ASTM F81-00
Стандартный метод испытаний для измерения изменения радиального сопротивления кремниевых пластин
- Стандартный №
- ASTM F81-00
- Дата публикации
- 2000
- Разместил
- American Society for Testing and Materials (ASTM)
- состояние
- быть заменен
- ASTM F81-01
- Последняя версия
- ASTM F81-01
- сфера применения
- 1.1 В настоящем методе испытаний предусмотрены процедуры определения относительного радиального изменения удельного сопротивления полупроводниковых пластин, вырезанных из монокристаллов кремния, выращенных либо методом Чохральского, либо методом плавающей зоны. 1.2 В этом методе испытаний предусмотрены процедуры использования метода испытаний F84 для четырехточечного метода испытаний. зондовое измерение изменения радиального удельного сопротивления.1.3 Этот метод испытаний позволяет измерить изменение удельного сопротивления между центром и выбранными внешними областями образца. Объем информации, полученной относительно величины и формы изменений в промежуточных областях при использовании четырехточечной группы датчиков, зависит от выбранного плана отбора проб (см. 7.2). Интерпретация измеренных изменений как радиальных изменений может быть ошибочной, если азимутальные изменения на пластине или осевые изменения по длине кристалла не являются незначительными. 1.4 Этот метод испытаний можно применять к монокристаллам кремния в форме круглой пластины толщиной которое составляет менее половины среднего расстояния между датчиками и имеет диаметр не менее 15 мм (0,6 дюйма). Измерения можно проводить на любом образце, для которого можно получить надежные измерения удельного сопротивления. Процедура измерения удельного сопротивления по методу испытаний F84 была проверена на образцах с удельным сопротивлением от 0,0008 до 2000 см для кремния p-типа и от 0,0008 до 6000 см для кремния n-типа. Геометрические поправочные коэффициенты, необходимые для этих измерений, включены для случая стандартных диаметров пластин, а для других случаев доступны в табличной форме. Примечание 1. В случае пластин, толщина которых превышает среднее расстояние между измерительными зондами, нет доступен геометрический поправочный коэффициент, за исключением измерений в центре поверхности пластины. 1.5 Приведено несколько планов отбора проб, в которых указаны наборы точек измерения на испытуемых пластинах. Планы отбора проб позволяют получить различные уровни детализации изменений удельного сопротивления. Один из этих планов отбора проб должен быть выбран и согласован сторонами, участвующими в измерении. Затем на каждом участке, указанном в выбранном плане отбора проб, применяются основные измерения удельного сопротивления по методу испытаний F 84. 1.6. Результаты выражаются как относительные изменения удельного сопротивления между несколькими участками измерения. Для получения абсолютных значений удельного сопротивления необходимо измерить и скорректировать температуру образца (см. 11.1.4). 1.7 Значения, указанные в единицах СИ, следует рассматривать как стандартные. Значения, указанные в скобках, предназначены только для информации. 1.8 Настоящий стандарт не претендует на решение всех проблем безопасности, если таковые имеются, связанных с его использованием. Пользователь настоящего стандарта несет ответственность за установление соответствующих мер безопасности и охраны труда и определение применимости нормативных ограничений перед использованием.
ASTM F81-00 Ссылочный документ
ASTM F81-00 История
- 1970 ASTM F81-01
- 2000 ASTM F81-00 Стандартный метод испытаний для измерения изменения радиального сопротивления кремниевых пластин
