ASTM F81-01
- Стандартный №
- ASTM F81-01
- Дата публикации
- 1970
- Разместил
- /
- Последняя версия
- ASTM F81-01
- сфера применения
- 1.1 Настоящий метод испытаний2 предусматривает процедуры определения относительного радиального изменения удельного сопротивления полупроводниковых пластин, вырезанных из монокристаллов кремния, выращенных методом Чохральского или методом плавающей зоны. 1.2 В настоящем методе испытаний предусмотрены процедуры использования метода испытаний F 84 для измерения четырехточечным зондом изменения радиального удельного сопротивления. 1.3 Этот метод испытаний позволяет измерить изменение удельного сопротивления между центром и выбранными внешними областями образца. Объем информации, полученной относительно величины и формы изменений в промежуточных областях при использовании четырехточечной группы датчиков, зависит от выбранного плана отбора проб (см. 7.2). Интерпретация измеренных изменений как радиальных изменений может быть ошибочной, если азимутальные изменения пластины или осевые изменения по длине кристалла не являются незначительными. 1.4 Этот метод испытаний может применяться к монокристаллам кремния в форме круглой пластины, толщина которой составляет менее половины среднего расстояния между зондами и диаметр которой составляет не менее 15 мм (0,6 дюйма). Измерения можно проводить на любом образце, для которого можно получить надежные измерения удельного сопротивления. Процедура измерения удельного сопротивления по методу испытаний F 84 была проверена на образцах с удельным сопротивлением от 0,0008 до 2000 В·см для кремния p-типа и от 0,0008 до 6000 В·см для кремния n-типа. Геометрические поправочные коэффициенты, необходимые для этих измерений, включены для случая стандартных диаметров пластин, а для других случаев доступны в табличной форме.3 ПРИМЕЧАНИЕ 1. — В случае пластин, толщина которых превышает среднее расстояние между измерительными зондами, нет доступен геометрический поправочный коэффициент, за исключением измерения в центре поверхности пластины. 1.5 Приведены несколько планов отбора проб, в которых указаны наборы мест измерения на испытуемых пластинах. Планы отбора проб позволяют получить различные уровни детализации изменений удельного сопротивления. Один из этих планов отбора проб должен быть выбран и согласован сторонами, участвующими в измерении. Затем на каждом участке, указанном в выбранном плане отбора проб, применяются основные измерения удельного сопротивления по методу испытаний F 84. 1.6 Результаты выражаются как относительные изменения удельного сопротивления между несколькими точками измерения. Для получения абсолютных значений удельного сопротивления необходимо измерить и скорректировать температуру образца (см. 11.1.4). 1.7 Значения, указанные в единицах СИ, следует считать стандартными. Значения, указанные в скобках, предназначены только для информации. 1.8 Настоящий стандарт не претендует на решение всех проблем безопасности, если таковые имеются, связанных с его использованием. Пользователь настоящего стандарта несет ответственность за установление соответствующих мер безопасности и охраны труда и определение применимости нормативных ограничений перед использованием.
ASTM F81-01 Ссылочный документ
ASTM F81-01 История
- 1970 ASTM F81-01
- 2000 ASTM F81-00 Стандартный метод испытаний для измерения изменения радиального сопротивления кремниевых пластин
