ASTM F1259M-96(2003)
Стандартное руководство по проектированию плоских, прямолинейных испытательных структур для обнаружения обрыва цепи металлизации или отказа, вызванного увеличением сопротивления из-за электромиграции [метрическая система]
- Стандартный №
- ASTM F1259M-96(2003)
- Дата публикации
- 1996
- Разместил
- American Society for Testing and Materials (ASTM)
- состояние
- 2009-12
- Последняя версия
- ASTM F1259M-96(2003)
- сфера применения
- Настоящее руководство предназначено для проектирования испытательных структур, используемых при измерении среднего времени наработки на отказ и сигмы (см. Метод испытаний F 1260M) металлизаций, изготовленных способами, представляющими интерес для сторон испытания. В этом руководстве представлены конструктивные особенности, которые облегчают точные измерения сопротивления испытательной линии, используемые при оценке температуры металлизации. Конструктивные особенности также предназначены для обеспечения однородности температуры вдоль испытательной линии и минимального температурного градиента на концах испытательной линии, когда во время ускоренного стресс-теста возникает значительный джоулевой нагрев. 1.1 В настоящем руководстве рассматриваются рекомендуемые конструктивные особенности испытательных конструкций, используемых в ускоренные стресс-тесты, как описано в методе испытаний F 1260M, для характеристики распределения отказов металлизаций межсоединений, которые выходят из строя из-за электромиграции. 1.2 Настоящее руководство ограничено конструкциями с прямой испытательной линией на плоской поверхности, которые используются для обнаружения отказов из-за обрыв цепи или процентное увеличение сопротивления испытательной линии.1.3 Настоящее руководство не предназначено для испытаний металлических линий, ширина которых примерно равна или меньше расчетного среднего размера металлических зерен в линии металлизации.1.4 Это Руководство не предназначено для тестовых структур, используемых для обнаружения случайных дефектов в линии металлизации.1.5 Испытываемыми и характеризуемыми металлизациями являются те, которые применяются в микроэлектронных схемах и устройствах.
ASTM F1259M-96(2003) Ссылочный документ
- ASTM F1260M Стандартный метод испытаний для оценки медианного времени до отказа электромиграции и сигмы металлизации интегральных схем [метрика]
- ASTM F1261M Стандартный метод испытаний для определения средней электрической ширины прямой тонкопленочной металлической линии [метрическая система]
ASTM F1259M-96(2003) История
- 1996 ASTM F1259M-96(2003) Стандартное руководство по проектированию плоских, прямолинейных испытательных структур для обнаружения обрыва цепи металлизации или отказа, вызванного увеличением сопротивления из-за электромиграции [метрическая система]
- 1996 ASTM F1259M-96 Стандартное руководство по проектированию плоских, прямолинейных испытательных структур для обнаружения обрыва цепи металлизации или отказа, вызванного увеличением сопротивления из-за электромиграции [метрическая система]
