ASTM F1259M-96 Стандартное руководство по проектированию плоских, прямолинейных испытательных структур для обнаружения обрыва цепи металлизации или отказа, вызванного увеличением сопротивления из-за электромиграции [метрическая система]
1.1 В настоящем руководстве рассматриваются рекомендуемые конструктивные особенности испытательных конструкций, используемых в ускоренных стресс-тестах, как описано в методе испытаний F 1260, для характеристики распределения отказов металлизаций межсоединений, которые выходят из строя из-за электромиграции. 1.2 Руководство ограничено конструкциями с прямой испытательной линией на плоской поверхности, которые используются для обнаружения отказов из-за обрыва цепи или процентного увеличения сопротивления испытательной линии. 1.3 Настоящее руководство не предназначено для испытаний металлических линий, ширина которых примерно равна или меньше расчетного среднего размера металлических зерен в линии металлизации. 1.4 Настоящее руководство не предназначено для тестовых конструкций, используемых для обнаружения случайных дефектов на линии металлизации. 1.5 Испытанным и охарактеризованным металлизациями являются те, которые применяются в микроэлектронных схемах и устройствах.
ASTM F1259M-96 История
1996ASTM F1259M-96(2003) Стандартное руководство по проектированию плоских, прямолинейных испытательных структур для обнаружения обрыва цепи металлизации или отказа, вызванного увеличением сопротивления из-за электромиграции [метрическая система]
1996ASTM F1259M-96 Стандартное руководство по проектированию плоских, прямолинейных испытательных структур для обнаружения обрыва цепи металлизации или отказа, вызванного увеличением сопротивления из-за электромиграции [метрическая система]