ASTM F1260M-96(2003)
Стандартный метод испытаний для оценки медианного времени до отказа электромиграции и сигмы металлизации интегральных схем [метрика]

Стандартный №

ASTM F1260M-96(2003)

Дата публикации

1996

Разместил

American Society for Testing and Materials (ASTM)

состояние

снять со счета 2009-12

Последняя версия

ASTM F1260M-96(2003)

сфера применения

1.1 Этот метод испытаний предназначен для характеристики распределения отказов металлизаций межсоединений, которые используются в микроэлектронных схемах и устройствах, которые выходят из строя из-за электромиграции при заданной плотности постоянного тока и температурном напряжении. Этот метод испытаний предназначен для использования только в том случае, когда распределение отказов может быть описано логарифмически нормальным распределением. 1.2 Этот метод испытаний предназначен для использования в качестве контрольного метода между лабораториями и для сравнения сплавов металлизации и металлизаций, приготовленных различными способами. Он не предназначен для квалификации поставщиков или определения срока службы металлизации. 1.3 Метод испытаний представляет собой ускоренное испытание на нагрузку четырехполюсных конструкций (см. Руководство F 1259M), где критерием разрушения является либо разомкнутая цепь при испытании. линии или заданного процентного увеличения сопротивления испытательной структуры. 1.4 Этот метод испытаний позволяет подвергать испытательные структуры испытательного чипа нагрузке, пока они еще являются частью пластины (или ее части) или когда они прикреплены к корпусу и электрически доступны. с помощью клемм корпуса. 1.5 Настоящий метод испытаний не предназначен для характеристики металлизации на виды отказов, связанные с короткими замыканиями между соседними линиями металлизации или между двумя уровнями металлизации. 1.6 Этот метод испытаний не предназначен для случая, когда стресс-тест прекращается. до того, как все детали выйдут из строя. 1.7 Этот метод испытаний в первую очередь предназначен для анализа полных данных. Предусмотрена возможность анализа подвергнутых цензуре данных (то есть, когда стресс-тест останавливается до того, как все испытуемые детали вышли из строя). 1.8. Настоящий стандарт не претендует на решение всех проблем безопасности, если таковые имеются, связанных с его использованием. Пользователь настоящего стандарта несет ответственность за установление соответствующих мер безопасности и охраны труда и определение применимости нормативных ограничений перед использованием.

ASTM F1260M-96(2003) Ссылочный документ

• ASTM F1259M Стандартное руководство по проектированию плоских, прямолинейных испытательных структур для обнаружения обрыва цепи металлизации или отказа, вызванного увеличением сопротивления из-за электромиграции [метрическая система]
• ASTM F1261M Стандартный метод испытаний для определения средней электрической ширины прямой тонкопленочной металлической линии [метрическая система]

ASTM F1260M-96(2003) История

• 1996 ASTM F1260M-96(2003) Стандартный метод испытаний для оценки медианного времени до отказа электромиграции и сигмы металлизации интегральных схем [метрика]
• 1996 ASTM F1260M-96 Стандартный метод испытаний для оценки медианного времени до отказа и сигмы металлизации интегральных схем при электромиграции [метрика]