ASTM F847-94(1999)
Стандартные методы испытаний для измерения кристаллографической ориентации плоских поверхностей на пластинах монокристаллического кремния рентгеновскими методами
- Стандартный №
- ASTM F847-94(1999)
- Дата публикации
- 1994
- Разместил
- American Society for Testing and Materials (ASTM)
- состояние
- быть заменен
- ASTM F847-02
- Последняя версия
- ASTM F847-02
- сфера применения
- 1.1 Настоящие методы испытаний охватывают определение [альфа], углового отклонения между кристаллографической ориентацией направления, перпендикулярного плоскости контрольной плоскости на круглой кремниевой пластине, и заданной ориентацией плоскости в плоскости поверхности пластины. . 1.2 Данные методы испытаний применимы для пластин, значения длины которых находятся в диапазоне значений, указанных для кремниевых пластин в спецификации SEMI M1. Они пригодны для использования только на пластинах с угловыми отклонениями менее +5176. 1.3 Точность ориентации, достигаемая этими методами испытаний, напрямую зависит от точности, с которой плоская поверхность может быть совмещена с эталонной планкой, и от точности ориентации эталонной планки относительно рентгеновского луча. 1.4 Описываются два метода испытаний: Разделы Метод испытаний A --- Краевая дифракция рентгеновских лучей от 8 до 13 Метод Метод испытаний B --- Обратное отражение Лауэ от 14 до 18 Рентгеновский метод 1.4.1 Метод испытаний A является неразрушающим и аналогичен методу испытаний A из методов испытаний F26, за исключением того, что в нем используются специальные приспособления для удержания пластины, позволяющие однозначно ориентировать пластину относительно рентгеновского гониометра. Этот метод позволяет измерять кристаллографическое направление плоскостей с большей точностью, чем метод обратного отражения Лауэ. 1.4.2 Метод испытаний B также является неразрушающим и аналогичен методу испытаний E82 и DIN 50 433, часть 3, за исключением того, что в нем используется «мгновенная» пленка и специальное приспособление для ориентации плоскости относительно рентгеновского луча. . Хотя он проще и быстрее, он не обладает точностью метода испытаний А, поскольку в нем используются менее точные и менее дорогие приспособления и оборудование. Он производит постоянную видеозапись испытания. Примечание 1. Фотография Лауэ может интерпретироваться как предоставление информации о кристаллографических направлениях разориентации пластины; однако это выходит за рамки настоящего метода испытаний. Пользователи, желающие выполнить такую интерпретацию, должны обратиться к методу испытаний E82 и DIN 50 433, часть 3, или к стандартному учебнику по рентгеновским исследованиям. При использовании других приспособлений для удержания пластин метод испытаний B также применим для определения ориентации поверхности пластины. 1.5 Значения, указанные в единицах дюйм-фунт, следует рассматривать как стандартные. Значения, указанные в скобках, предназначены только для информации. 1.6 Настоящий стандарт не претендует на решение всех проблем безопасности, если таковые имеются, связанных с его использованием. Пользователь настоящего стандарта несет ответственность за установление соответствующих мер безопасности и охраны труда и определение применимости нормативных ограничений перед использованием. Конкретные указания на опасность см. в разделе 6.
ASTM F847-94(1999) Ссылочный документ
- ASTM E122 Стандартная практика расчета размера выборки для оценки с заданной допустимой погрешностью среднего значения характеристики партии или процесса*， 2000-10-10 Обновление
- ASTM E82 Стандартный метод испытаний для определения ориентации металлического кристалла
- ASTM F26
ASTM F847-94(1999) История
- 1970 ASTM F847-02
- 1994 ASTM F847-94(1999) Стандартные методы испытаний для измерения кристаллографической ориентации плоских поверхностей на пластинах монокристаллического кремния рентгеновскими методами
