ISO 22309:2006
Микролучевой анализ. Количественный анализ с использованием энергодисперсионной спектрометрии (ЭДС).
- Стандартный №
- ISO 22309:2006
- Дата публикации
- 2006
- Разместил
- International Organization for Standardization (ISO)
- состояние
- быть заменен
- ISO 22309:2011
- Последняя версия
- ISO 22309:2011
- сфера применения
- Настоящий международный стандарт дает руководство по количественному анализу в определенных точках или участках образца с использованием энергодисперсионной спектрометрии (EDS), оснащенной сканирующим электронным микроскопом (SEM) или электронно-зондовым микроанализатором (EPMA); любое выражение количества, т.е. в процентах (массовой доле), как большие/малые или большие/меньшие количества, считается количественным. Правильная идентификация всех элементов, присутствующих в образце, является необходимой частью количественного анализа и поэтому учитывается в настоящем стандарте. Настоящий международный стандарт содержит рекомендации по различным подходам и применим к рутинному количественному анализу массовых фракций до 1 % с использованием либо эталонных материалов, либо «бесстандартных» процедур. Его можно с уверенностью использовать для элементов с атомным номером Z > 10. Также дано руководство по анализу легких элементов с Z < 11. П р и м е ч а н и е — С осторожностью можно измерить массовые доли до 0,1 %, если нет перекрытия пиков и соответствующая характеристическая линия сильно возбуждена. Настоящий международный стандарт применяется главным образом к количественному анализу на плоской полированной поверхности образца. Основные процедуры также применимы к анализу образцов, не имеющих полированной поверхности, но при этом будут введены дополнительные компоненты неопределенности. Не существует общепринятого метода точного количественного ЭДС-анализа легких элементов. Однако существует несколько методов EDS. Это следующие. а) Измерение площадей пиков и сравнение интенсивностей так же, как и для более тяжелых элементов. По причинам, объясненным в Приложении D, неопределенность и неточность, связанные с результатами для легких элементов, будут выше, чем для более тяжелых элементов. б) Если известно, что легкий элемент стехиометрически сочетается с более тяжелыми элементами (Z > 10) в образце, его концентрацию можно определить путем суммирования соответствующих пропорций концентраций других элементов. Его часто используют для анализа кислорода в образцах силикатных минералов. в) Расчет концентрации по разности, где процентное содержание легких элементов составляет 100% минус процентная сумма анализируемых элементов. Этот метод возможен только при хорошей стабильности тока пучка и отдельном измерении хотя бы одного эталонного образца и требует очень точного анализа других элементов в образце. В приложении D суммированы проблемы анализа легких элементов, помимо тех, которые существуют для количественного анализа более тяжелых элементов. Если доступны как EDS, так и спектрометрия длины волны (WDS), то WDS можно использовать для преодоления проблем перекрытия пиков, которые возникают при EDS при низких энергиях. Однако многие другие проблемы являются общими для обоих методов.
ISO 22309:2006 Ссылочный документ
- ISO 14594 Микролучевой анализ. Электронно-зондовый микроанализ. Рекомендации по определению экспериментальных параметров для спектроскопии с дисперсией по длине волны.*， 2014-10-01 Обновление
- ISO 15632:2002 Микролучевой анализ. Технические характеристики энергодисперсионных рентгеновских спектрометров с полупроводниковыми детекторами.
- ISO 16700:2004 Микролучевой анализ. Сканирующая электронная микроскопия. Рекомендации по калибровке увеличения изображения.
- ISO/IEC 17025:2005 Общие требования к компетентности испытательных и калибровочных лабораторий
ISO 22309:2006 История
- 2011 ISO 22309:2011 Микролучевой анализ. Количественный анализ с использованием энергодисперсионной спектрометрии (ЭДС) для элементов с атомным номером 11 (Na) или выше.
- 2006 ISO 22309:2006 Микролучевой анализ. Количественный анализ с использованием энергодисперсионной спектрометрии (ЭДС).
