DIN 50455-1:1991
Испытание материалов для полупроводниковой техники; методы характеристики фоторезистов; определение толщины покрытия оптическими методами

Стандартный №

DIN 50455-1:1991

Дата публикации

1991

Разместил

German Institute for Standardization

состояние

снять со счета 2009-10

быть заменен

DIN 50455-1:2009

Последняя версия

DIN 50455-1:2009-10

сфера применения

Стандарт определяет метод, позволяющий характеризовать фоторезисты путем определения толщины покрытия.

DIN 50455-1:1991 История

• 2009 DIN 50455-1:2009-10 Испытание материалов для полупроводниковой техники. Методы характеристики фоторезистов. Часть 1. Определение толщины покрытия оптическими методами.
• 2009 DIN 50455-1:2009 Испытание материалов для полупроводниковой техники. Методы характеристики фоторезистов. Часть 1. Определение толщины покрытия оптическими методами.
• 1991 DIN 50455-1:1991 Испытание материалов для полупроводниковой техники; методы характеристики фоторезистов; определение толщины покрытия оптическими методами