Настоящий стандарт определяет подготовку проб, процедуры измерений и расчет результатов измерения толщины оксида графена методом атомно-силовой микроскопии (АСМ).Настоящий стандарт применим к измерению толщины оксида графена, диаметр которого составляет не менее 300 нм. Измерение толщины других двумерных материалов методом АСМ можно использовать в качестве справки.
GB/T 40066-2021 Ссылочный документ
GB/T 27760 Метод испытаний для калибровки z-увеличения атомно-силового микроскопа на субнанометровых уровнях смещения с использованием одноатомных ступеней Si(111)
GB/T 30544.13 Нанотехнологии. Словарь. Часть 13. Графен и родственные двумерные (2D) материалы.
JJF 1351 Спецификация калибровки для сканирующих зондовых микроскопов