1.1 Настоящий стандарт состоит из терминов и определений, относящихся к измерениям, проводимым на тонких отражающих пленках, например, используемых в материалах микроэлектромеханических систем (МЭМС).В частности, эти термины относятся к стандартам в разделе 2, которые были разработаны Комитетом E08. К настоящему стандарту применима терминология E1823, касающаяся испытаний на усталость и разрушение. 1.2 Термины перечислены в алфавитном порядке. 1.3 Настоящий международный стандарт был разработан в соответствии с международно признанными принципами стандартизации, установленными в Решении о принципах стандартизации. Разработка международных стандартов, руководств и рекомендаций, выпущенных Комитетом Всемирной торговой организации по техническим барьерам в торговле (ТБТ).
ASTM E2444-11(2018) Ссылочный документ
ASTM E1823 Стандартная терминология, относящаяся к испытаниям на усталость и разрушение
ASTM E2244 Стандартный метод испытаний для измерения длины тонких отражающих пленок в плоскости с использованием оптического интерферометра*, 2023-10-29 Обновление
ASTM E2245 Стандартный метод испытаний для измерения остаточной деформации тонких отражающих пленок с использованием оптического интерферометра*, 2023-10-29 Обновление
ASTM E2246 Стандартный метод испытаний для измерения градиента деформации тонких отражающих пленок с использованием оптического интерферометра*, 2023-10-29 Обновление
ASTM E2444-11(2018) История
2018ASTM E2444-11(2018) Стандартная терминология, относящаяся к измерениям, проводимым на тонких отражающих пленках
2011ASTM E2444-11e1 Терминология, относящаяся к измерениям, проводимым на тонких отражающих пленках
2011ASTM E2444-11 Терминология, относящаяся к измерениям, проводимым на тонких отражающих пленках
2005ASTM E2444-05e1 Терминология, относящаяся к измерениям, проводимым на тонких отражающих пленках
2005ASTM E2444-05 Терминология, относящаяся к измерениям, проводимым на тонких отражающих пленках