JIS K 0143:2023
Химический анализ поверхности. Вторично-ионная масс-спектрометрия. Определение атомной концентрации бора в кремнии с использованием однородно легированных материалов.

Стандартный №

JIS K 0143:2023

Дата публикации

2023

Разместил

Japanese Industrial Standards Committee (JISC)

Последняя версия

JIS K 0143:2023

JIS K 0143:2023 История

• 2023 JIS K 0143:2023 Химический анализ поверхности. Вторично-ионная масс-спектрометрия. Определение атомной концентрации бора в кремнии с использованием однородно легированных материалов.
• 2000 JIS K 0143:2000 Химический анализ поверхности. Масс-спектрометрия вторичных ионов. Определение атомной концентрации бора в кремнии с использованием однородно легированных материалов.