JIS K 0143:2000
Химический анализ поверхности. Масс-спектрометрия вторичных ионов. Определение атомной концентрации бора в кремнии с использованием однородно легированных материалов.
- Стандартный №
- JIS K 0143:2000
- Дата публикации
- 2000
- Разместил
- Japanese Industrial Standards Committee (JISC)
- состояние
- 2023-02
- быть заменен
- JIS K 0143:2023
- Последняя версия
- JIS K 0143:2023
- сфера применения
- Настоящий стандарт определяет метод вторичной ионной масс-спектрометрии для определения атомной концентрации бора в монокристаллическом кремнии с использованием однородно легированного образца, откалиброванного с помощью сертифицированного стандартного образца, полученного путем имплантации бора. Этим методом определяют концентрацию равномерно добавленного бора в диапазоне концентраций от 1 х 10 атомов/см до 1 х 10 атомов/см.
JIS K 0143:2000 История
- 2023 JIS K 0143:2023 Химический анализ поверхности. Вторично-ионная масс-спектрометрия. Определение атомной концентрации бора в кремнии с использованием однородно легированных материалов.
- 2000 JIS K 0143:2000 Химический анализ поверхности. Масс-спектрометрия вторичных ионов. Определение атомной концентрации бора в кремнии с использованием однородно легированных материалов.
