В настоящей спецификации указаны общие требования, правила обеспечения качества, подготовка поставки и инструкции к химико-механическим полировальным машинам (далее - оборудование). Настоящая спецификация применяется к проектированию, производству, проверке, приемке и заказу химико-механических полировальных машин для процесса микросборки тонких пленок и процесса полировки кремниевых пластин.Другое технологическое оборудование для производства микросборок или аналогичное оборудование в других отраслях промышленности также может быть реализовано. с учетом.
SJ 21127-2016 Ссылочный документ
GB 2894-2008 Знаки безопасности и инструкции по использованию
GB/T 4025-2003 Основные принципы и принципы безопасности человеко-машинного интерфейса, маркировки и идентификации. Принципы кодирования устройств индикации и исполнительных механизмов.
GB/T 6621-1995 Методы испытаний на плоскостность поверхности полированных пластин кремния
GJB 1210-1991 Реализация проекта заземления, соединения и экранирования.
GJB 151A-1997 Требования к электромагнитному излучению и чувствительности военной техники и подсистем
GJB 152A-1997 Измерения электромагнитного излучения и чувствительности военной техники и подсистем
GJB 1653-1993 Спецификация на упаковку электронного и электрического оборудования, аксессуаров и запасных частей
SJ 21127-2016 История
2016SJ 21127-2016 Общие технические условия на оборудование для химико-механической полировки