IEC 62047-16:2015
Полупроводниковые приборы. Микроэлектромеханические устройства. Часть 16. Методы испытаний для определения остаточных напряжений пленок МЭМС. Кривизна пластины и методы отклонения консольной балки
- Стандартный №
- IEC 62047-16:2015
- Дата публикации
- 2015
- Разместил
- International Electrotechnical Commission (IEC)
- Последняя версия
- IEC 62047-16:2015
- заменять
- IEC 47F/209/FDIS:2014
- сфера применения
- Эта часть IEC 62047 определяет методы испытаний для измерения остаточных напряжений пленок толщиной в диапазоне 0@01 ?? до 10 ?? в МЭМС-структурах, изготовленных методами кривизны пластин или консольного отклонения балки. Пленки следует наносить на подложку с известными механическими свойствами модуля Юнга и коэффициента Пуассона. Эти методы используются для определения остаточных напряжений в тонких пленках, нанесенных на подложку [1]1. 1 Цифры в квадратных скобках относятся к библиографии.
IEC 62047-16:2015 Ссылочный документ
- IEC 62047-21:2014 Полупроводниковые приборы. Микроэлектромеханические устройства. Часть 21. Метод определения коэффициента Пуассона тонкопленочных МЭМС-материалов.
IEC 62047-16:2015 История
- 2015 IEC 62047-16:2015 Полупроводниковые приборы. Микроэлектромеханические устройства. Часть 16. Методы испытаний для определения остаточных напряжений пленок МЭМС. Кривизна пластины и методы отклонения консольной балки
