IEC 62047-21:2014
Полупроводниковые приборы. Микроэлектромеханические устройства. Часть 21. Метод определения коэффициента Пуассона тонкопленочных МЭМС-материалов.

Стандартный №

IEC 62047-21:2014

Дата публикации

2014

Разместил

International Electrotechnical Commission (IEC)

Последняя версия

IEC 62047-21:2014

заменять

IEC 47F/185/FDIS:2014

сфера применения

Эта часть IEC 62047 определяет определение коэффициента Пуассона по результатам испытаний, полученных путем приложения одноосных и двухосных нагрузок к материалам тонкопленочных микроэлектромеханических систем (МЭМС) длиной и шириной менее 10 мм и толщиной менее 10 мкм. ?.

IEC 62047-21:2014 Ссылочный документ

• ASTM E132-04 Стандартный метод определения коэффициента Пуассона при комнатной температуре*， 2023-11-08 Обновление
• IEC 62047-8:2011 Полупроводниковые приборы. Микроэлектромеханические устройства. Часть 8. Метод испытания полос на изгиб для измерения свойств тонких пленок на растяжение.

IEC 62047-21:2014 История

• 2014 IEC 62047-21:2014 Полупроводниковые приборы. Микроэлектромеханические устройства. Часть 21. Метод определения коэффициента Пуассона тонкопленочных МЭМС-материалов.