GB/T 14851-1993
Газ для электронной промышленности.Фосфин (Англоязычная версия)
- Стандартный №
- GB/T 14851-1993
- язык
- Китайский, Доступно на английском
- Дата публикации
- 1993
- Разместил
- General Administration of Quality Supervision, Inspection and Quarantine of the People‘s Republic of China
- состояние
- 2010-05
- быть заменен
- GB/T 14851-2009
- Последняя версия
- GB/T 14851-2009
- сфера применения
- Настоящий стандарт устанавливает технические требования, методы испытаний, правила контроля, требования безопасности, упаковку, маркировку, транспортирование и хранение фосфиновой продукции. Настоящий стандарт распространяется на фосфиновые продукты, полученные термическим разложением фосфористой кислоты, гидролизом фосфида, реакцией элементарного фосфора с водой или щелочью и очищенные. В основном его используют для эпитаксии, ионной имплантации и легирования при производстве полупроводниковых приборов и интегральных схем. Фосфин — высокотоксичный, легковоспламеняющийся, бесцветный газ с запахом тухлой рыбы, способный в высоких концентрациях в воздухе самовозгораться. Молекулярная формула: PH3. Относительная молекулярная масса: 33,9975 (согласно международному атомному весу 1989 г.).
GB/T 14851-1993 История
- 2009 GB/T 14851-2009 Газ для электронной промышленности.Фосфин
- 1993 GB/T 14851-1993 Газ для электронной промышленности.Фосфин
